SEMICONDUCTOR GAS SENSOR

 

 

센서는 인간의 오감을 대체하거나 보완하기 위해 이용됩니다. 특히 가스센서는 인간의 후각에 대응되며 오염물질 모니터링, 독성 가스의 검출, 전자후각 등에 대한 관심이 증가하면서 연구가 활발히 이루어지고 있습니다. 산화물 반도체식 가스센서는 여러 방식의 가스센서 중 전기적 방법을 활용하는 것으로 특정 가스와 산화물 반도체의 표면이 반응할 때 나타나는 저항변화를 이용합니다.

산화물 반도체식 가스센서는 간단한 센서구조를 가지고 있기 때문에 소형화 제조가 가능하며, 기판에 따라 저온의 수열합성법부터 단결정 나노 와이어를 성장시키는 Vapor-Liquid-Solid (VLS)방식 까지 다양한 공정 방법을 이용할 수 있습니다. 또한 접촉연소식 가스센서와 비교 했을 때 소모 전력이 매우 낮아 전자기기의 모듈로 활용하기에도 유리합니다.

1960년대부터 가스센서에 대한 연구가 이루어져 감응기구, 감도, 응답속도 등에 대한 이해가 이루어졌습니다. 하지만 극 소량의 가스에 대한 낮은 반응, 높은 가스 검출 온도와 감지가스의 낮은 선택성 등 해결해야하는 문제들이 남아있습니다.